磨光鎢棒的關鍵制造工藝

　　（1）原材料選擇

　　純度：通常采用99.95%以上高純鎢棒（如ASTM B777標準）。

　　初始狀態：燒結態或熱軋態，直徑范圍Φ1mm~Φ100mm，長度可達1000mm。

　　（2）精密磨削（外圓磨床）

　　設備：CNC外圓磨床（金剛石/CBN砂輪）。

　　工藝參數：

　　砂輪粒度：粗磨（#180~#400）→精磨（#600~#1200）。

　　進給量：0.005~0.02mm/次，避免鎢脆性導致崩邊。

　　冷卻液：專用鎢加工冷卻油，防止熱應力裂紋。

　　（3）超精密拋光（鏡面級）

　　機械拋光：

　　使用金剛石拋光膏（0.5~3μm）+無紡布拋光輪，Ra可達0.05μm。

　　電解拋光（EP）：

　　適用于超高光潔度（Ra<0.01μm），采用NaOH或KOH電解液，電壓5~20V。

　　（4）檢測與包裝

　　尺寸檢測：激光測徑儀（±0.002mm）、圓度儀（≤0.005mm）。

　　表面檢測：白光干涉儀（Ra）、電子顯微鏡（微裂紋）。

　　包裝：真空防氧化包裝或惰性氣體保護。

　　磨光鎢棒的關鍵性能參數

　　參數　　　　普通磨光　　　　高精度磨光　　超精密拋光

　　表面粗糙度　Ra 0.1~0.4μm　 0.05~0.1μm　 ≤0.01μm

　　直徑公差　　±0.01mm　　　 ±0.005mm　　±0.002mm

　　直線度　　　≤0.05mm/m　　≤0.02mm/m　≤0.01mm/m

　　應用舉例電極、配重醫療準直器半導體探針

　　主要應用領域

　　（1）半導體與電子工業

　　探針卡（Probe Card）：超高精度鎢棒用于晶圓測試，要求Ra<0.05μm。

　　濺射靶材支撐軸：高直線度（≤0.01mm/m）確保鍍膜均勻性。

　　（2）醫療設備

　　放射治療準直器：鎢棒加工成多葉光柵（MLC），表面光潔度影響射線聚焦精度。

　　伽馬刀核心部件：高密度+高拋光，減少散射。

　　（3）高溫工業

　　單晶爐熱場組件：鎢棒作為加熱器支撐桿，耐2000°C以上高溫。

　　真空爐發熱體：鏡面拋光減少揮發污染。

　　（4）軍工與科研

　　穿甲彈芯材：高密度鎢棒（Φ5~20mm）經精密磨削提升彈道一致性。

　　同步輻射光束線：超高直線度鎢棒用于X射線導向。