基本結構與材質

　　1.典型結構

　　圓筒形設計：直徑300-1500mm，高度400-3000mm

　　多層結構：通常由內膽、隔熱屏和外罩組成

　　法蘭連接：采用特殊密封設計保證真空度

　　2.主要材質

　　純鉬(99.95%)，1800℃性價比高，加工性好常規真空熱處理

　　鉬鑭合金(Mo-La)，2000℃抗蠕變性強長期高溫工作

　　TZM合金(Mo-0.5Ti-0.1Zr)，2200℃高溫強度高極端高溫環境

　　制造工藝

　　板材成型工藝：

　　鉬板剪切→滾圓→焊接（電子束焊）

　　焊縫探傷（X射線或超聲波）

　　精密機加工（車削、鉆孔）

　　表面處理技術：

　　電解拋光（Ra≤0.8μm）

　　高溫退火（消除應力）

　　特殊涂層（如SiC抗氧化涂層）

　　應用領域

　　1.高端材料熱處理

　　航空航天合金（鎳基、鈦基）

　　硬質合金燒結

　　陶瓷材料高溫處理

　　2.半導體工業

　　硅片退火

　　化合物半導體制備

　　光伏材料處理

　　3.科研領域

　　新材料開發

　　超高溫實驗

　　真空冶金研究