與圓形爐膽的核心差異對比
特性 方形真空爐膽 圓形真空爐膽
結構強度 需加強棱角抗變形設計(應力集中高) 自然承壓結構(均勻受力)
熱場均勻性 邊緣溫差較大(±8~10℃) 更均勻(±3~5℃)
空間利用率 提升30%~50%(適合板狀工件堆疊) 有效容積較低
制造成本 高20%~35%(焊接工藝復雜) 相對經濟
關鍵設計要素
1.結構強化方案
棱角處理:
采用圓弧過渡設計(R角≥50mm)降低熱應力開裂風險
外部加強筋布局(例:304不銹鋼框架+水冷管道集成)
密封系統:
雙道金屬密封(銅墊圈+彈簧儲能密封)確保直角法蘭氣密性
動態密封補償技術(應對熱脹冷縮變形)
2.熱場優化技術
多區加熱布局:
獨立控溫的側面+底部加熱器(如鉬帶分區纏繞)
邊緣增配輔助加熱帶(補償角部熱損失)
反射屏設計:
階梯式多層鉬屏(層間距5~10mm)
角部采用可變形金屬氈(緩解熱膨脹應力)
典型應用場景
光伏行業:
硅片PERC電池的快速退火(要求溫控±2℃)
方形爐膽匹配硅片傳輸軌道(減少死區空間)
復合材料成型:
碳纖維預浸料熱壓罐工藝(需平面壓力均勻)
電子元件封裝:
IGBT模塊的真空釬焊(工件多為矩形基板)