鎢加熱器的核心特性

　　?超高熔點：3422°C，是目前金屬中熔點高的材料。

　　?高溫穩定性：在2000°C以上仍保持高強度，不易變形。

　　?低蒸氣壓：真空環境下不易揮發，適合高純工藝。

　　?耐腐蝕性：抗熔融金屬（如銅、鋁）和部分酸堿侵蝕。

　　?高電阻率：可作為有效電熱元件（需配合大電流電源）。

　　主要應用領域

　　（1）半導體與光伏行業

　　單晶硅生長：CZ法（直拉法）加熱器，溫度可達1600°C以上。

　　MOCVD設備：用于GaN、LED外延片生長。

　　離子注入機：高溫退火環節的加熱源。

　　（2）高溫真空爐

　　燒結爐：碳化鎢、陶瓷粉末的高溫燒結（1800~3000°C）。

　　熱處理爐：特種合金（如鈦合金、高溫合金）的熱處理。

　　（3）藍寶石晶體生長

　　泡生法（Kyropoulos）：鎢加熱器提供穩定高溫環境。

　　導模法（EFG）：用于大尺寸藍寶石襯底生產。

　　（4）科研與特殊工業

　　電子束蒸發鍍膜：鎢坩堝+加熱器一體化設計。

　　核聚變實驗：第 一壁材料的高溫模擬測試。

　　制造工藝與關鍵參數

　　（1）材料選擇

　　純鎢：高溫性能優，但脆性大（需摻雜La?O?或K改善延展性）。

　　鎢合金：如W-Re（鎢錸合金），提升抗熱震性。

　　（2）加工工藝

　　粉末冶金：鎢粉壓制+高溫燒結（2200°C以上）。

　　壓力加工：熱軋/冷拔成絲、帶、棒材（需退火消除應力）。

　　焊接：電子束焊（EBW）或氬弧焊（TIG），避免晶粒粗化。

　　（3）關鍵性能參數

　　工作溫度：通常1600~3000°C（視環境而定）。

　　電阻值：根據功率需求設計（需匹配電源電壓/電流）。

　　壽命：真空環境中可達數千小時，氧化性氣氛中需保護措施。